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      晶圓AOI
      
                        
                        
                        
       
      
                    
      
                    
      
                        
      晶圓檢測AOI可用于芯片制造的多個制程，如襯底/外延片制造， 晶圓光刻后，晶圓刻蝕后，晶圓成膜后以及晶圓CP測試后的外觀缺陷檢測，支持2D/3D關(guān)鍵尺寸的測量。
      高速，高精度晶圓檢測，提升良率，降低客戶TCO適合小批量傳感器，分立器件生產(chǎn)的高速檢測，取代人工目檢。
      靈活高效多種方式的缺陷Review和自動缺陷分類多種算法聯(lián)合檢測，缺陷識別率高

                          
      
                
      
                
            
      
        
      
    
      

      

      






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